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“小而美”的半导体设备赛道CMP国产崛起两环节为核心赛道

时间:2024-08-10   来源:保洁服务项目

  前言:今天半导体相关板块表现不错,本篇给大家介绍一个半导体设备行业的相关联的内容,CMP是晶圆制造的重要环节,在整个半导体行业也发挥着重要的作用。在全球产业转移的背景下,CMP迎来了国产替代的良机,本篇先从细分赛道的角度来聊聊,在《CMP系列二》中我会再补充介绍其他的相关内容。

  重申下,所有的内容来自于公开的渠道(不是所有的公开渠道大家都能接触到),如果有涉及商业利益的,请联系本人调整。

  近期深圳市发布的最新文件指出,加快完善集成电路设计、制造、封测等产业链,开展EDA工具软件、半导体材料、高端芯片和专用芯片设计技术攻关,推进12英寸芯片生产线、第三代半导体等重点项目建设。在半导体领域,CMP是一个很重要的环节,因此要推动我们国家半导体行业的整体发展,CMP的发展就不可以忽视,下面详细聊聊CMP行业。

  CMP即化学机械抛光,是实现晶圆全局平坦化的关键工艺,指的是通过非物理性腐蚀与机械研磨的协同配合作用,实现晶圆表面多余材料的高效去除与全局纳米级平坦化,是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺。集成电路制造是CMP设备应用的最主要的场景,重复使用在薄膜沉积后、光刻环节之前;除了集成电路制造,CMP设备还能够适用于硅片制造环节与先进封装领域。

  CMP为多学科交叉,行业进入门槛较高,日美企业占据多数市场占有率。根据 Gartner 研究数据,2019 年美国应用材料和日本荏原的 CMP 设备销售额分别为 10.43 亿美元、3.725 亿美元,各占 70%、25%的全球市场占有率;2017、2018、2019 三年,两家公司合计占有的市场占有率分别为 98%、90%、95%。

  国内 CMP 设备的主要研发生产单位有华海清科和北京烁科, 其中华海清科是国产 12 和 英寸和 8 寸 英寸 CMP 设备的主要供应商, 是目前国内唯一实现了 12 英寸CMP 设备量产销售的半导体设备供应商,相较于国内其他厂商(如北京烁科精微)有着非常明显的行业领头羊。华海清科CMP 产品在已量产的制程(14nm 以上)及工艺应用中已能实现对海外公司产品的替代。

  根据 Gartner 数据,CMP 设备在半导体晶圆制造设备中占比为 3%,结合 SEMI 的数据,2020-2021 年全球晶圆制造设备市场规模 612 亿美元、880 亿美元,按照 3%的比例测算,CMP设备对应市场规模为 18.4 亿美元、26.4 亿美元,。根据 SEMI 数据,2021 年中国大陆在半导体设备在全球市场占比高达 28.7%,按次比例测算 CMP设备的占比,预计 2021 年中国大陆 CMP设备市场规模 7.6 亿美元。

  CMP 抛光材料是 CMP 工艺中用到材料的总称, 在半导体材料成本中占比约 7% 。其中,抛光液和抛光垫为 CMP工艺的核心材料,在 CMP 抛光材料中占比分别达到 49%和 和 33% 。国内抛光液/抛光垫市场分别为20/12 亿元,国内市场受益于下游晶圆厂扩建及国产化率提升,增速有望高于全球市场,2025 年抛光液/抛光垫市场有望占全球市场的 25%,分别为 40/27 亿元,2021-2025 年CAGR 达 15%。

  在CMP材料领域,国内厂商迎来 国产化+ 差异化竞争机遇。目前半导体材料整体的国产化率仅 10%,抛光垫市场呈现一家独大的市场格局,根据 Semi 统计,陶氏化学占有主导地位,2018 年全球市占率达 79%;抛光液企业Cabot 微电子 2020 年市占率达 36%,差异化竞争使得市场格局相对分散。随着半导体产业逐渐向中国大陆转移,国内半导体材料需求持续增长,国产替代需求强烈。随着需求的多样化和对品质要求的提高,未来抛光材料将逐步向专用化、定制化方向发展,这为立足国内市场的国产厂商提供了与国际企业差异化竞争的机遇。

  抛光液在 CMP 技术中至关重要,在抛光材料中的价值占比达到 49%,由于抛光液种类非常之多,市场之间的竞争格局相对较分散。抛光液当前的全球主流供应商为卡博特、日立、FUJIMI、慧瞻材料等,占据全球近 65%的市场占有率,根据 Cabot 数据统计,2020 年卡博特的抛光液全球市场占有率达 36%,在中国市场内占比达 39%,国内代表企业安集科技在国内市场中占 13%份额,其余 48%为其他海外企业占据。

  抛光垫是 CMP 工艺中除抛光液之外的另一重要耗材。目前全球抛光垫市场主要被美国厂商所占据,陶氏化学 2018 年占全球抛光垫市场占有率接近 80%;大陆厂商中,鼎龙股份通过 28nm 产品全制程(ILD/SIT/W/Cu/GKMG)的验证并获得订单,针对 14nm 以下先进制程开发的新产品在客户端验证进展顺利。

  小结:CMP 市场的快速增长以及我国巨大的市场规模和进口替代预期,还将吸引更加多的潜在进入者,对那些已经有所布局的企业将率先享受这份红利。

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